Bromwasserstoffkompressor – Hochreine und sichere Ausrüstung von chinesischen Lieferanten und Herstellern für die Halbleiterfertigung
Vorteile des Membrankompressors mit Bromwasserstoff
Absolut ölfrei und garantiert null Auslaufen
Die einzigartige Metallmembran trennt das Prozessgas vollständig vom Hydraulikölsystem und ermöglicht so eine 100% ölfreie Kompression. Die gesamte Gaskammer ist statisch abgedichtet, wodurch das Risiko eines Austritts von Bromwasserstoff oder des Eindringens von Verunreinigungen praktisch ausgeschlossen wird. Dadurch werden die extrem hohen Reinheitsanforderungen der Halbleiterätzung und ähnlicher Anwendungen optimal erfüllt.
Eigensichere, korrosionsbeständige Plattform
Alle medienberührten Bauteile können aus hochwertigen, korrosionsbeständigen Legierungen gefertigt werden. Das Gas kommt ausschließlich mit sorgfältig ausgewählten, korrosionsbeständigen Oberflächen in Kontakt, wodurch die komplexen Korrosions- und Verschleißprobleme, die bei dynamischen Dichtungen in Hubkolbenkompressoren auftreten, vermieden werden. Dies führt zu einer langen Lebensdauer der Anlagen und deutlich verlängerten Wartungsintervallen.
Wichtige Konstruktionspunkte für einen Membrankompressor mit Bromwasserstoff
Komplette Serie korrosionsbeständiger Werkstoffe
Alle Bauteile, die mit Bromwasserstoff in Berührung kommen, einschließlich Membrankopf, Zylinderkopf, Gasventile, interne Rohrleitungen und Flansche, müssen aus bromwasserstoffbeständigen Werkstoffen gefertigt sein. Edelstahl SS316L ist die Standardwahl. Bei extremen Bedingungen mit hoher Luftfeuchtigkeit oder anderen oxidierenden Verunreinigungen ist eine Prüfung und gegebenenfalls ein Upgrade auf Duplex-Edelstahl oder Nickelbasislegierungen erforderlich. Alle Edelstahlbauteile müssen einen ausreichenden Korrosionszuschlag (typischerweise mindestens 2 mm) aufweisen und einer gründlichen Entfettung, Reinigung und Passivierung unterzogen werden.
Kernmembran & Rupturüberwachung
Die Membran ist die zentrale Komponente für die Isolation und Abdichtung. Es müssen Werkstoffe mit ausgezeichneter Korrosionsbeständigkeit in Bromwasserstoff-Umgebungen und hoher Dauerfestigkeit, wie beispielsweise Speziallegierungen wie Inconel 718, ausgewählt werden. Eine standardmäßige dreilagige Membrankonstruktion mit Membranbruchmelder ist erforderlich. Reißt die mittlere Membran, löst der Drucksensor umgehend einen Wartungsalarm aus, während die äußere Membran weiterhin die Gasdichtigkeit gewährleistet und somit doppelten Schutz bietet.
Integrierte Sicherheitsentladung und Überwachung
Abgase, die Bromwasserstoff aus dem Sicherheitsventil enthalten, dürfen niemals direkt in die Atmosphäre oder eine Fackel abgeleitet werden; sie müssen einem separaten Laugenwäscher zur Neutralisation zugeführt werden. Eine fest installierte Bromwasserstoff-Gassonde ist in die Kompressoreinheit zu integrieren, um die Umgebungskonzentration in Echtzeit zu überwachen und mit dem Belüftungssystem zu verriegeln. Gleichzeitig sind Kühlwasserdurchfluss, Öldruck sowie Drücke und Temperaturen in jeder Stufe kontinuierlich zu überwachen. Eine umfassende Alarm- und Abschaltlogik ist zu konfigurieren.
Zertifikat
Modellauswahl
| Modell | G70Z / G95Z / G110Z / G130Z |
| Kolbenhub | 70 mm ~ 130 mm |
| Maximale Kolbenkraft | 10 kN ~ 30 kN |
| Maximaler Förderdruck | 70 MPa |
| Durchflussbereich | 1 ~ 500 Nm³/h |
| Motorleistung | 2,2 kW ~ 30 kW |
| Kurbelwellendrehzahl | 420 U/min |
| Kühlmethode | Wassergekühlt / Luftgekühlt |
| Modell | G70V / G95V / G130V |
| Kolbenhub | 70 mm ~ 130 mm |
| Maximale Kolbenkraft | 10 kN ~ 30 kN |
| Maximaler Förderdruck | 50 MPa |
| Durchflussbereich | 1 ~ 200 Nm³/h |
| Motorleistung | 2,2 kW ~ 30 kW |
| Kurbelwellendrehzahl | 420 U/min |
| Kühlmethode | Wassergekühlt / Luftgekühlt |
| Modell | G110L / G130L |
| Kolbenhub | 110 mm ~ 130 mm |
| Maximale Kolbenkraft | 20 kN ~ 40 kN |
| Maximaler Förderdruck | 100 MPa |
| Durchflussbereich | 10 ~ 1000 Nm³/h |
| Motorleistung | 7,5 kW ~ 90 kW |
| Kurbelwellendrehzahl | 420 U/min |
| Kühlmethode | Wassergekühlt / Luftgekühlt |
| Modell | G110D / G130D / G150D / G180D / G182D / G210D |
| Kolbenhub | 110 mm ~ 210 mm |
| Maximale Kolbenkraft | 20 kN ~ 160 kN |
| Maximaler Förderdruck | 100 MPa |
| Durchflussbereich | 30 ~ 2000 Nm³/h |
| Motorleistung | 22 kW ~ 200 kW |
| Kurbelwellendrehzahl | 420 U/min |
| Kühlmethode | Wassergekühlt / Luftgekühlt |
| NEIN. | Modell | Kühlwasser | Fließen | Einlassdruck | Auslassdruck | Abmessungen | Gewicht | Motorleistung |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| (L/h) | (Nm³/h) | (MPa) | (MPa) | L×B×H (≈mm) | (≈kg) | (kW) | ||
| 1 | GZ-30/5-10 | 500 | 30 | 0,5 | 1 | 1400×740×1330 | 700 | 3 |
| 2 | GZ-12/0,5-8 | 500 | 12 | 0,05 | 0,8 | 1500×760×1200 | 750 | 4 |
| 3 | GZ-30/0.15-5 | 1000 | 30 | 0,015 | 0,5 | 1200×900×1200 | 800 | 7,5 |
| 4 | GV-30/1-3 | 1000 | 30 | 0,1 | 0,3 | 1400×900×1200 | 900 | 7,5 |
| 5 | GV-120/3.5-12 | 2000 | 120 | 0,35 | 1.2 | 2030×1045×1700 | 2200 | 22 |
| 6 | GV-120/3.5-12 | 2000 | 120 | 0,35 | 1.2 | 2030×1045×1700 | 3000 | 22 |
| 7 | GL-30/21 | 4200 | 30 | Atmosphärisch | 2.1 | 2200×1700×1800 | 2600 | 11 |
| 8 | GL-60/0,05-4 | 4000 | 60 | 0,005 | 0,4 | 2400×1800×1600 | 3000 | 15 |
| 9 | GL-150/0,3-5 | 2000 | 150 | 0,03 | 0,5 | 3230×1770×2200 | 3000 | 18,5 |
| 10 | G130D-278/1.1-3 | 2000 | 278 | 0,11 | 0,3 | 3000×2000×1800 | 4000 | 22 |
| 11 | GD-600/1,5-5 | 5000 | 600 | 0,15 | 0,5 | 3500×2300×1800 | 4500 | 45 |
| 12 | GD-1306/6-12 | 8000 | 1306 | 0,6 | 1.2 | 3800×2300×1800 | 6000 | 75 |
Fallstudie
Russland
Vereinigte Staaten
Spanien
