Chinesischer Zulieferer: Hochreiner Bromwasserstoffkompressor für die Halbleiterfertigung
Vorteile des Membrankompressors mit Bromwasserstoff
Absolut ölfrei und garantiert null Auslaufen
Die einzigartige Metallmembran trennt das Prozessgas vollständig vom Hydraulikölsystem und ermöglicht so eine 100% ölfreie Kompression. Die gesamte Gaskammer ist statisch abgedichtet, wodurch das Risiko eines Austritts von Bromwasserstoff oder des Eindringens von Verunreinigungen praktisch ausgeschlossen wird. Dadurch werden die extrem hohen Reinheitsanforderungen der Halbleiterätzung und ähnlicher Anwendungen optimal erfüllt.
Eigensichere, korrosionsbeständige Plattform
Alle medienberührten Bauteile können aus hochwertigen, korrosionsbeständigen Legierungen gefertigt werden. Das Gas kommt ausschließlich mit sorgfältig ausgewählten, korrosionsbeständigen Oberflächen in Kontakt, wodurch die komplexen Korrosions- und Verschleißprobleme, die bei dynamischen Dichtungen in Hubkolbenkompressoren auftreten, vermieden werden. Dies führt zu einer langen Lebensdauer der Anlagen und deutlich verlängerten Wartungsintervallen.
Wichtige Konstruktionspunkte für einen Membrankompressor mit Bromwasserstoff
Materialauswahl für flüssigkeitsgetränkte Teile
Alle Bauteile, die mit Bromwasserstoff in Berührung kommen, einschließlich Membrankopf, Zylinderkopf, Gasventile, interne Rohrleitungen und Flansche, müssen aus bromwasserstoffbeständigen Werkstoffen gefertigt sein. Edelstahl SS316L ist die Standardwahl. Bei extremen Bedingungen mit hoher Luftfeuchtigkeit oder anderen oxidierenden Verunreinigungen ist eine Prüfung und gegebenenfalls ein Upgrade auf Duplex-Edelstahl oder Nickelbasislegierungen erforderlich. Alle Edelstahlbauteile müssen einen ausreichenden Korrosionszuschlag (typischerweise mindestens 2 mm) aufweisen und einer gründlichen Entfettung, Reinigung und Passivierung unterzogen werden.
Überwachung von Zwerchfellrupturen
Die Membran ist die zentrale Komponente für die Isolation und Abdichtung. Es müssen Werkstoffe mit ausgezeichneter Korrosionsbeständigkeit in Bromwasserstoff-Umgebungen und hoher Dauerfestigkeit, wie beispielsweise Speziallegierungen wie Inconel 718, ausgewählt werden. Eine standardmäßige dreilagige Membrankonstruktion mit Membranbruchmelder ist erforderlich. Reißt die mittlere Membran, löst der Drucksensor umgehend einen Wartungsalarm aus, während die äußere Membran weiterhin die Gasdichtigkeit gewährleistet und somit doppelten Schutz bietet.
Sicherheitsentladungs- und Überwachungssystem
Abgase, die Bromwasserstoff aus dem Sicherheitsventil enthalten, dürfen niemals direkt in die Atmosphäre oder eine Fackel abgeleitet werden; sie müssen einem separaten Laugenwäscher zur Neutralisation zugeführt werden. Eine fest installierte Bromwasserstoff-Gassonde ist in die Kompressoreinheit zu integrieren, um die Umgebungskonzentration in Echtzeit zu überwachen und mit dem Belüftungssystem zu verriegeln. Gleichzeitig sind Kühlwasserdurchfluss, Öldruck sowie Drücke und Temperaturen in jeder Stufe kontinuierlich zu überwachen. Eine umfassende Alarm- und Abschaltlogik ist zu konfigurieren.
Zertifikat
Modellauswahl
| ModellG70Z/G95Z/G110Z/G130Z | Kolbenhub70 mm bis 130 mm | Maximale Kolbenkraft10 kN bis 30 kN |
| Maximaler Entladedruck70 MPa | Durchflussbereich1~500 Nm³/h | Motorleistung2,2 kW bis 30 kW |
| Kurbelwellendrehzahl420 U/min | KühlmethodeWassergekühlt/Luftgekühlt | |
| ModellG70V/G95V/G130V | Kolbenhub70 mm bis 130 mm | Maximale Kolbenkraft10 kN bis 30 kN |
| Maximaler Entladedruck50 MPa | Durchflussbereich1~200 Nm³/h | Motorleistung2,2 kW bis 30 kW |
| Kurbelwellendrehzahl420 U/min | KühlmethodeWassergekühlt / Luftgekühlt | |
| ModellG110L/G130L | Kolbenhub110 mm bis 130 mm | Maximale Kolbenkraft20 kN bis 40 kN |
| Maximaler Entladedruck100 MPa | Durchflussbereich10~1000 Nm³/h | Motorleistung7,5 kW bis 90 kW |
| Kurbelwellendrehzahl420 U/min | KühlmethodeWassergekühlt / Luftgekühlt | |
| ModellG110D/G130D/G150D/G180D/G182D/G210D | Kolbenhub110 mm bis 210 mm | Maximale Kolbenkraft20 kN bis 160 kN |
| Maximaler Entladedruck100 MPa | Durchflussbereich30~2000 Nm³/h | Motorleistung22 kW bis 200 kW |
| Kurbelwellendrehzahl420 U/min | KühlmethodeWassergekühlt / Luftgekühlt | |
| NEIN. | Modell | Kühlwasser | Fließen | Einlassdruck | Auslassdruck | Abmessungen L×B×H | Gewicht | Motorleistung |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| (L/h) | (Nm³/h) | (MPa) | (MPa) | (≈mm) | (≈kg) | (kW) | ||
| 1 | GZ-30/5-10 | 500 | 30 | 0,5 | 1 | 1400×740×1330 | 700 | 3 |
| 2 | GZ-12/0,5-8 | 500 | 12 | 0,05 | 0,8 | 1500×760×1200 | 750 | 4 |
| 3 | GZ-30/0.15-5 | 1000 | 30 | 0,015 | 0,5 | 1200×900×1200 | 800 | 7,5 |
| 4 | GV-30/1-3 | 1000 | 30 | 0,1 | 0,3 | 1400×900×1200 | 900 | 7,5 |
| 5 | GV-120/3.5-12 | 2000 | 120 | 0,35 | 1.2 | 2030×1045×1700 | 2200 | 22 |
| 6 | GV-120/3.5-12 | 2000 | 120 | 0,35 | 1.2 | 2030×1045×1700 | 3000 | 22 |
| 7 | GL-30/21 | 4200 | 30 | Atmosphärisch | 2.1 | 2200×1700×1800 | 2600 | 11 |
| 8 | GL-60/0,05-4 | 4000 | 60 | 0,005 | 0,4 | 2400×1800×1600 | 3000 | 15 |
| 9 | GL-150/0,3-5 | 2000 | 150 | 0,03 | 0,5 | 3230×1770×2200 | 3000 | 18,5 |
| 10 | G130D-278/1.1-3 | 2000 | 278 | 0,11 | 0,3 | 3000×2000×1800 | 4000 | 22 |
| 11 | GD-600/1,5-5 | 5000 | 600 | 0,15 | 0,5 | 3500×2300×1800 | 4500 | 45 |
| 12 | GD-1306/6-12 | 8000 | 1306 | 0,6 | 1.2 | 3800×2300×1800 | 6000 | 75 |
Fallstudie
